激光功率計(jì)是用來(lái)測(cè)試連續(xù)激光的功率或者脈沖激光在某一段時(shí)間的平均功率的儀器。

設(shè)備簡(jiǎn)介

常用到激光能量計(jì)，用來(lái)探測(cè)重復(fù)脈沖激光的單發(fā)能量和單脈沖激光的能量。Ophir 的熱電堆型激光功率計(jì)通過(guò)熱電堆結(jié)構(gòu)將光能轉(zhuǎn)換成熱量，再轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出，通過(guò)校準(zhǔn)來(lái)精確測(cè)量激光功率的大小。激光功率計(jì)一般由探頭和顯示設(shè)備組成，激光功率計(jì)探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型（thermal）、光電二極管型（PD:Photodiode）、以及包含兩種傳感器的綜合探頭（RP），激光能量計(jì)則有熱釋電傳感器(PE:Pyroelectric)和熱電堆（Thermal）傳感器探頭。

生產(chǎn)企業(yè)

典型的生產(chǎn)廠商有加拿大Gentec-EO和以色列Ophir, 其中Ophir功率和能量探頭有一百多種。探頭選擇取決于測(cè)量的類型及待測(cè)激光的參數(shù)，比如激光連續(xù)or 脈沖？激光功率or 能量范圍？光束口徑？波長(zhǎng)（范圍）。沒(méi)有一款探頭能適應(yīng)所有的激光測(cè)試條件。主要有顯示設(shè)備用來(lái)顯示測(cè)量結(jié)果，有不同功能的表頭，或電腦連接器。光電二極管激光能量傳感器的靈敏度較高，能探測(cè)的最小能量達(dá)到10Pj, 熱釋電激光能量傳感器一般有金屬型和損傷閾值較高的BF型。由于種類較多，一般可以通過(guò)廠商提供的篩選選軟件來(lái)選擇使用合適的探頭。

sensor類型備注適用范圍
功率傳感器1熱電堆激光功率傳感器測(cè)功率1/n·mW~ n·Kw
測(cè)單脈沖激光能量()f≤0.2HZ
2熱電堆激光功率、位置、光斑大小傳感器定中心、光束定位、路徑跟蹤以及功率和單脈沖能量測(cè)試
3光電二極管激光功率傳感器1pW--n·100mW--3W(filter)
能量傳感器4熱釋電激光能量傳感器耐用性比熱電堆型差，不使用時(shí)需移除激光照射f≤25KHZ

探頭類型

熱電堆型激光功率計(jì)

表面吸收材料種類較多，對(duì)應(yīng)不同的吸收光譜和不同的功率密度損傷閾值。典型的有

表面吸收結(jié)構(gòu)探頭：

-BB寬光譜吸收材料，此寬光譜吸收材料的鍍層損傷域值可達(dá)20KW/cm；吸收率大約90%，從紫外到紅外的曲線平滑;

-EX (Excimer lasers) 準(zhǔn)分子激光專用吸收材料，對(duì)于紫外光有高吸收率，可以承受高能量或高平均功率的準(zhǔn)分子激光，同時(shí)對(duì)10.6um和其他波長(zhǎng)也有很好的響應(yīng)，-EX最大平均功率強(qiáng)度約2KW/cm。

-LP長(zhǎng)脈沖吸收材料，對(duì)于豪秒量級(jí)長(zhǎng)脈沖或是連續(xù)波激光有很高的損傷域值，在1064nm和10.6μm處做過(guò)校準(zhǔn)，-LP最大平均功率強(qiáng)度約10KW/cm, -LP1最大平均功率強(qiáng)度約20KW/cm。

體吸收結(jié)構(gòu)探頭：

-P短脈沖式吸收材料，應(yīng)用于短脈沖激光的探頭，最大平均功率強(qiáng)度50W/cm。對(duì)于脈沖激光，吸收材料表面有大約95%吸收率的特殊的ND吸收玻璃。

-HE/-HE1高能量脈沖激光吸收材料，-HE最大平均功率強(qiáng)度500W/cm。對(duì)于短脈沖/高平均功率激光都有高的損傷域值。

-HL高能量長(zhǎng)脈沖吸收材料，用于脈寬大于2ms的高能量，高平均功率的激光

-PF/-SV 作為-P探頭的擴(kuò)展，能承受更高的平均功率和平均功率密度，-PF（3KW/cm），-SV（60KW/cm）。