名稱

三維形貌測(cè)量系統(tǒng)

三維形貌測(cè)量系統(tǒng)

參數(shù)

主要技術(shù)指標(biāo):

● 光源:150W光纖冷光源

● 有效測(cè)量范圍:

細(xì)觀:X、Y方向的有效測(cè)量范圍:0.5×0.7mm2~5×7mm2

X、Y方向的測(cè)量分辨力:0.5um~5.0um

深度(Z)方向測(cè)量范圍: 0.5um~300um(最大放大倍數(shù))~5um~3mm( 最小放大倍數(shù))

Z方向測(cè)量分辨力: 0.01um(最大放大倍數(shù))~0.1um(最小放大倍數(shù))

宏觀:X、Y方向的有效測(cè)量范圍:100×140mm2~ 1000×1400mm2

X、Y方向的測(cè)量分辨力:0.1mm~1.0mm

深度(Z)方向測(cè)量范圍:30mm~300mm

Z方向測(cè)量分辨力:0.01mm~0.1mm

● 分辨率: 1/20光柵節(jié)距

● 顯示速率:25幀/s

● 細(xì)觀測(cè)量:采用10 倍手動(dòng)變焦鏡頭

● 軟件:相移三維變形測(cè)量軟件

● 圖像分辨率:1280×1024(細(xì)觀 2560×1920)