朱煜（清華大學(xué)教授）

學(xué)科領(lǐng)域

精密測量與控制理論、超精密機(jī)械設(shè)計與制造、電子制造工藝及其裝備等。

教育經(jīng)歷

（1）博士，中國礦業(yè)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院，2001年獲機(jī)械設(shè)計及理論工學(xué)博士學(xué)位；

（2）碩士，中國礦業(yè)大學(xué)信息電子工程學(xué)院，1993年獲計算機(jī)應(yīng)用工學(xué)碩士學(xué)位；

（3）學(xué)士，北京師范大學(xué)無線電電子學(xué)系，1983年獲無線電電子學(xué)理學(xué)學(xué)士學(xué)位。

工作經(jīng)歷

2004年～至今，清華大學(xué)精儀系制造所任教；

2001年～2004年，清華大學(xué)制造所博士后；

1999年～2001年，清華大學(xué)制造所訪問學(xué)者；

1983年～2004年，中國礦業(yè)大學(xué)任教。

科研工作

從事超精密機(jī)械與控制等方面研究，承擔(dān)973、863、國家自然基金項目10余項，現(xiàn)為國家重大專項項目、重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃（973計劃）課題負(fù)責(zé)人。共發(fā)表論文80余篇，其中SCI、EI收錄40余篇，引用110余次，申請國家發(fā)明專利22項，美國專利2項。

代表性論文

（1） Yu Zhu,Songtao Jia,Yaying Chen,Guang Li. Electrorheological damper for the oltra-precision air bearing stage. Frontiers of Mechanical Engineering in China,2008.6,3（2）:158-163.

（2） Wei peng,Zhu yu,Tan Qiaofeng,Duan Guanghong,Gao Guohua. Discussion on the radial superresolution of the two-photon microfabrication. Key Engineering Materials,2007,329(): 601-605.

（3） Zhang Ming,Zhu Yu,Ren Gexue,Duan Guanghong. Finite element and experimental analysis on micro-vibration of ultra precision air bearing linear motion stage and methods of its elimination. onference MNC 2007,p83-87.

（4） Cheng Jia,Zhu Yu,Duan Guanghong,Chen Yangying. Three-dimensional discharge simulation of inductively coupled plasma etcher. Proceedings of the International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems 2007,p795-800.

（5） Chen Yaying,Zhu Yu,Duan Guanghong,Cheng Jia. STUDY ON MICRO STRAIN ELECTRORHEOLOGICAL DAMPER MODEL. Proceedings of MNC2007: International Conference on ntegration and Commercialization of Micro and Nano-systems Sanya,Hainan China,p1017-1022.

（6） Xu Dengfeng,Zhu Yu. Dynamic Analysis of A Gas Bearing Support Guide Way Through Simplified Beam Model. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1184-1187.

（7） Zhang Ming,Zhu Yu,Ren Gexue,Duan Guanghong. Finite element and experimental modal analyses of ultra-precision air bearing linear motion stage. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1721-1725.

（8） Cheng Jia,Zhu Yu. Influence of configurations of chamber and coil on uniformity of plasma distribution for inductively coupled plasma etcher. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1113-1117.

（9） Wei.Peng,Zhu Yu,TAN.Qiaofeng and DUAN Guanghong. Discussion on the improved diffractive superresolution element of the two-photon microfabrication. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1505-1508.

（10） Gao Guohua,Zhu Yu,Duan Guanghong. High Precision Formation for Two-Photon 3D Microfabrication. 2006 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ROBOTICS AND BIOMIMETICS,VOLS 1-3 : 1571-1575 2006.

（11） Cao Jiayong,Zhu Yu,et al．A novel synchronous permanent magnet planar motor and its model for control applications. IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS,JUN 2005,41 （6）: 2156-2163.

（12） Cao Jiayong,Zhu Yu,et al．Analysis and Comparison of 2-D Permanent Magnet Arrays for Planar Motor. IEEE Transactions on Magnetics,2004,40（6）：3490-3494.

（13）朱煜，孟飚，等．并聯(lián)機(jī)構(gòu)組合式自動建模研究.《北京航空航天大學(xué)學(xué)報》，2003.9,29（9）:774-778.

（14）朱煜，汪勁松，等。并聯(lián)機(jī)構(gòu)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的字符串描述及其應(yīng)用.《中國機(jī)械工程》，2003.6,14（12）:991-995.

（15）朱煜，汪勁松，等．并聯(lián)機(jī)床數(shù)字化創(chuàng)新設(shè)計研究.《計算機(jī)集成制造系統(tǒng)CIMS》，2003.1,9（1）:61-68.

社會兼職

（1） “十五”“十一五”某領(lǐng)域國家重大專項咨詢組成員，專家組副組長；

（2） 《半導(dǎo)體學(xué)報》雜志常務(wù)理事；

（3）北京市電子制造裝備行業(yè)協(xié)會常務(wù)理事；

（4）機(jī)械工程學(xué)會高級會員。